Guías educativas para el procesamiento, caracterización y aplicaciones de recubrimientos-capas delgadas
Autor: Donald M Mattox , Federico Sequeda
Número de Páginas: 488Este texto recoge y discute la información, muchas veces dispersa, sobre una serie de cuestiones relativas al desarrollo de recubrimientos-capas delgadas, como son los fundamentos físicos de las técnicas de preparación; sus ventajas e inconvenientes para la preparación de un material determinado en forma de recubrimiento-capa delgada; la influencia de los parámetros del proceso de deposición en los mecanismos de crecimiento y parámetros más críticos a controlar; la influencia de los mecanismos de crecimiento en las propiedades microscópicas de las capas delgadas (composición, morfología, estructura, etc.); el efecto del substrato en las propiedades de crecimiento, y las aplicaciones más importantes de los recubrimientos-capas delgadas. Los capítulos, subdivididos en guías, se desarrollan en torno a cuatro temáticas. Inicialmente se describen los aspectos más generales relacionados con las técnicas de vacío utilizadas en la deposición de capas delgadas, y los fundamentos de las descargas eléctricas en gases, introduciendo el concepto de plasma, recurrente tanto en las técnicas de deposición como en la caracterización de las capas. Asimismo, se tratan los...
